工作目标

本课题针对大规格光掩模石英玻璃基板领域存在的标准、检测、评价等支撑体系薄弱的问题，通过整合石英玻璃基板测试评价行业资源，提升大规格光掩模石英玻璃基板全产业链的集检测、认证、标准研发、应用及运行监测、人才技术培训，向全社会开放，为大规格光掩模石英玻璃基板研发、生产、应用等单位提供高端服务。

工作组当前状态

运行中

工作组成员

组长：吴洁

副组长：杨学东

秘书：王京侠

专家：王友军、欧阳葆华、熊启龙、李弋舟、王玉芬、向在奎、聂兰舰

工作组组长单位

中国建材检验认证集团股份有限公司

参与单位

中建材衢州金格兰石英有限公司、湖北菲利华石英玻璃股份有限公司、深圳清溢光电股份有限公司、长沙韶光铬版有限公司、中国建筑材料科学研究总院有限公司石英与特种玻璃研究院

联系方式

姓名：吴洁  电话：010-51167161

电子邮箱：wj@ctc.ac.cn

工作组工作内容和计划

1. 建立超高纯石英玻璃杂质元素含量分析体系，服务于石英玻璃行业、半导体行业、平板显示领域。

2. 结合产业链上下游需求，建立完善的半导体行业用的光掩模石英玻璃基板产品质量评价体系。

3. 探索产品平整度等关键几何参数评价设备。

4. 初步建立大规格光掩模石英玻璃基板产品质量评价体系。

首期选取的试点新材料，牌号、品种、用途

介于目前国内尚不能自主生产平板显示领域用的大规格光掩模石英玻璃基板，选择半导体行业用的光掩模石英玻璃基板进行试点。

指标体系、试验技术体系提出和完善

梳理出产品性能指标体系表和试验技术体系表；

提出了试验技术体系中存在的问题；

标准工作计划

申请制定《石英玻璃光谱透射比试验方法》国家标准；

完成该标准征求意见稿。

拟研究制定工作组试点材料质量评价规范和实施细则，形成团体标准

起草光掩模石英玻璃基板评价规范。

拟开展的课题研究

光掩模石英玻璃基板的检测及评价。

拟组织的质量评价试点工作

其他工作